玻璃搪瓷与眼镜

2004, (05) 43-46

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ITO薄膜的制备工艺及进展
Fabrication Techniques and Development of ITO Film

王树林,夏冬林

摘要(Abstract):

对玻璃表面ITO膜的组成、导电机制、性质和制备工艺进行描述。介绍各种制备工艺的优点及在今后的研究中要解决的问题

关键词(KeyWords): ITO薄膜;磁控溅射;真空沉积;溶胶-凝胶

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 王树林,夏冬林

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